Welcome to Yangzhou Guoxing Technology Co., Ltd [official website]
主機尺寸:2000W x 1700D x 2500H mm(可定制化)
真空腔體尺寸: 1140W x 1560D x 960H mm(可定制化)
電極板配置:16 片垂直電極板,15 個處理位置
有效區域:1115W x 630H mm(可定制化)
等離子體電源:定制化
工藝氣體控制:
標配:
O2、N2:0~5000sccm;
CF4:0~400sccm;
Ar:0~2000sccm;
可選: 額外一路工藝氣體,流量范圍可定制
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