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1、什麼是等離子體？
等離子體是物質的第四態，即電離了的“氣體”，它呈現出高度激發的不穩定態,等離子體中存在下列物質：
① 處於高速運動狀態的電子；
② 處於啟動狀態的中性原子、分子、原子團（自由基）；
③ 分子解離反應過程中生成的紫外線；
④ 離子化的原子、分子；
⑤ 未反應的分子、原子等。
但物質在總體上仍保持電中性狀態。
2、如何獲得等離子體？
我們知道，給固態增加能量可使之成為液態，給液態增加能量 可使之變成氣態，那麼，給氣態增加能量則能變成等離子態。因此，等離子態是氣體在一定環境下輝光放電產生的一種物態。
3、等離子體種類有哪些呢？
A.大氣壓等離子體
氣體處於大氣壓狀態並從外界獲得大量能量，得到的等離子體稱為大氣壓等離子體。其具有溫度高、強度大、破壞性強等特點。
B.低壓等離子體
在低壓氣體的場合產生的等離子體稱為低壓等離子體。
4、低壓等離子技術主要應用有哪些？
A、清洗/蝕刻
在進行清洗時，工作氣體往往用氧氣、 氬氣或其他混合氣體，它被加速了的 電子轟擊成氧離子、自由基後，氧化 性極強。工件表面的汙物，如油脂、 助焊劑、感光膠、脫膜劑、衝床油等, 很快就會被氧化成二氧化碳、水或其 他雜質氣體，而被真空泵抽走，從而 達到清潔表面，改善浸潤性和粘結性目的。
B、表面活化
物體表面在02,N2或Ar等離子的作用下，可以改變表層的分子 結構，從而增加物體的表面能。
C、引入官能基團（親水性/疏水性處理）
高分子材料用N2、NH3、02、SO2等氣體的等離子體處理，可以改變表面的化學組成，引入相應新的官能基團：-NH2、-OH、-COOH、-S03H等。這些官能團可使聚乙烯,聚丙烯，聚苯乙烯，聚四氟乙 烯等這些完全惰性的基材變成官能團材料，可以提高表面極性，浸潤性，可粘結性，反應性，極大地提高了其使用價值。與氧等離子體相反，而經含氟氣體的低溫等離子體處理，可在基材表面引入氟原子，使基材具有疏水性.
