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| Plasma表面處理裝置（電漿機）主要技術參數 | |||
| 整機外形尺寸 | 標準：900mm寬×1000mm深×1800mm高 (依據客戶要求定制化） | ||
| 腔體內尺寸 | 標準：450mm寬*450mm深*400mm高 (依據客戶要求定制化） | ||
| 載物層數 | 6層 | ||
| plasma發生系統 | 等離子體發生源 | ||
| 控制系統 | 觸摸屏+PLC全自動控制 | ||
| 進氣系統 | 2路進氣、1路放空 | ||
| Plasma表面處理裝置（電漿機）的主要配置元件 | |||
| 系統組成 | 組件明細 | ||
| 真空系統 | 真空腔 | 特種專用鋁合金材料 | |
| 真空計 | ULVAC高精密真空計，高低壓力報警 | ||
| 真空泵 | 油泵/幹泵（可選） | ||
| 真空管路組件 | 全不銹鋼管路+波紋管 | ||
| plasma發生系統 | plasma發生器 | 射頻電源 | |
| 真空電極組件 | 內置平板式電極結構 | ||
| 電控系統 | 人機工控系統 | MCGS觸摸屏,7英寸真彩色觸摸式全中文界面 | |
| 自動控制模塊 | 西門子PLC控制模塊（D/A、A/D轉換，數據安全可輸入輸出） | ||
| 電控集成 | 采用國內外知名品牌元器件 | ||
| 進氣系統 | 氣體計量系統 | 高精度質量流量控制器 | |
| 氣壓控制系統 | 全套電磁閥控制 | ||
| 氣壓監測系統 | SMC減壓閥、壓力報警儀表 | ||
| 進氣管路組件 | Φ6 軟管+不銹鋼鎖套管路 | ||
| 載物系統 | 托盤 | 可根據客戶工藝需求，設計定制。 | |
| 其他 | 機箱 | 高質量噴漆 | |
| 組配件 | 國內外知名品牌元器件 | ||
